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產品詳情
  • 產品名稱:FMA-A2000系列OMEGA氣體質量流量計/控制器

  • 產品型號:FMA-A2102-SS
  • 產品廠商:美國OMEGA
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
精度為±1%,線性模擬輸出,成本低,采用熱感技術,可測量高達100 SLM的流量,內含電源
詳情介紹:

FMA-A2000系列OMEGA電子質量流量計/控制器性能出眾、 功能多樣、設計先進、外形緊湊。FMA-A2000利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。

FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表,請參閱下一頁的量程表。 FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。

OMEGA的質量流量控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量。可以通過內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。

規格

精度:滿量程的±1%(包括線性度)

重復性:滿量程的±0.15%或者更佳

量程比:100:1

響應時間:5秒

氣體環境溫度:0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)

溫度系數:每1°C為滿量程的0.05%或更佳

壓力系數:每psi為滿量程的0.01%或更佳

zui低壓力要求:

流量計:1英寸水柱

zui大流速為1 SLM的控制器:1 psi

流速大于20 SLM的控制器:20 psi

質量流量控制器的壓差:<5 LPM,5 ~ 50 psi(標準);>5 LPM,20 ~ 40 psi(標準)

氣體zui大壓力:

聚甲醛:250 psig

316不銹鋼:500 psig

泄漏完整性:1 x10-6 cc/min氦氣或更佳

接液部件:

標配:聚甲醛、氟橡膠O形圈

選配:316不銹鋼、氟橡膠O形圈

連接口:? FNPT(標配);

?"壓合接頭(適用于所有不銹鋼型號流量計)

輸入/輸出連接口:9針sub-D連接器

控制信號:0 ~ 5 Vdc

控制閥:常閉電磁閥

輸出信號:線性0 ~ 5 Vdc(zui小負載1000 ?),4 ~ 20 mA(環路電阻500 ?)

安裝螺紋:

316不銹鋼殼體:6?32"螺紋

聚甲醛材料:#4/6自攻螺絲

輸入電源:

流量計:24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)

控制器:24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)

重量:1.25 kg (2.75 lb)(含電源)

外形尺寸:參見圖紙

美國OMEGA氣體質量流量計/控制器


量程表

代碼

SCCM

代碼

SLM

代碼

SLM

0

0~10

6

0~1

14

0~35

1

0~20

7

0~2

15

0~40

2

0~50

8

0~5

16

0~45

3

0~100

9

0~10

17

0~50

4

0~200

10

0~15

18

0~55*

5

0~500

11

0~20

19

0~60*

12

0~25

20

0~65*

13

0~30

21

0~70*

22

0~75*

23

0~100*

訂貨信息:

型號

說明

FMA-A21(*)

不帶顯示屏的質量流量計,可選量程范圍從0~10SCCM0~100SLM

FMA-A22(*)-SS-(**)

不帶顯示屏的質量流量控制器,帶控制閥,可選量程范圍從0~10SCCM0~50SLM,316不銹鋼殼體

FMA-A23(*)

帶顯示屏的質量流量計,可選量程范圍從0~10SCCM0~100SLM

FMA-A24(*)-SS-(**)

帶顯示屏的質量流量控制器,帶控制閥,可選量程范圍從0~10SCCM0~50SLM,316不銹鋼殼體

配件:

型號

說明

FMA-200PWA

備用插座式插接電源(90 ~ 260 Vac

SSLK-14-14

316不銹鋼壓合接頭,1?? NPT,1??"外徑管

配備操作手冊、9sub-D連接器、電源及NIST校準(無數據點)。

* 請插入頁面頂部量程表中的量程代碼,湊齊訂購型號。

** 指定氣體、入口/出口壓力和溫度。

欲購可選316不銹鋼殼體儀表,請將后綴“-SS”添加到型號中(需付額外費用)(1?4"壓合接頭為標配)。對于FMA-A22FMA-A24控制器,不銹鋼殼體是標配。

注:所有指定的控制器流量范圍均針對20 psig時的氮氣或空氣;在用于其它氣體時,需要使用相關系數確定流量。

要獲得5測量點NIST校準證書,請將后綴“-NIST5”添加到型號中(無額外費用)。

要獲得10測量點NIST校準證書,請將后綴“-NIST10”添加到型號(需付額外費用)。

訂購示例:

FMA-A2316,帶顯示屏的質量流量計,針對20 psig入口壓力和室溫的氮氣而校準,量程0 ~ 45 SLM?P: 5 ~ 20 psi

FMA-A2102-SS,316不銹鋼殼體質量流量計,不帶顯示屏,量程0 ~ 50 SCCM。

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